一、簡介
平面度檢查儀是一種用于檢測平面度的精密測量儀器，廣泛應(yīng)用于航空航天、機械、汽車、電子、化工等各個領(lǐng)域中，是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中的檢測設(shè)備之一。
平面度是指測量平面與正常方向的偏離程度，它是表征一個平面表面平整度和平面面積大小的物理量。一般來說，平面度要求越高，制造成本就越高，因為需要采用更加精細的加工工藝和更高精度的機床設(shè)備。因此，對于一些高精度零部件的生產(chǎn)，平面度的檢測就顯得尤為重要。
二、原理
平面度檢查儀的檢測原理基于激光干涉儀測量原理。
光束從光源出發(fā)，經(jīng)過聚光透鏡在被測物體表面形成一束平行光。光波經(jīng)該光路中光學(xué)元件后形成兩股波，透過被測平面后再聚焦，光波再次干涉并聚集于檢測器上。檢測器檢測光強度差值，進而計算出光程差和被測平面的表面形態(tài)。
三、技術(shù)指標(biāo)
1、分辨率
以光束的直徑為單位，表示平面度檢查儀上顯示的數(shù)字精度。
2、重復(fù)性
重復(fù)性指同一被測物測量多次得到的結(jié)果間的接近程度。
3、線性度
線性度指檢測儀在一定的測量范圍內(nèi)輸出值與被測值之間的偏差程度。
4、穩(wěn)定性
穩(wěn)定性表示檢測儀在不同溫度、濕度、震動等條件下，輸出值變化的程度。
5、測量范圍
測量范圍指測量儀器能夠檢測的被測平面的大小范圍。
四、應(yīng)用領(lǐng)域及維護保養(yǎng)
1、應(yīng)用領(lǐng)域
平面度檢查儀廣泛應(yīng)用于航空航天、機械、汽車、電子、化工等各個領(lǐng)域中，主要用于檢測高精度零部件的平面度。
2、維護保養(yǎng)
?。?）平面度檢查儀不得強震或撞擊，避免造成損壞。
?。?）檢查儀器各部件的接頭、固定螺絲是否松動或損壞，及時處理。
?。?）避免高溫、潮濕、腐蝕等情況，存放前需做好防護工作，并定期檢查儀器的存放環(huán)境。
（4）使用前要注意校準(zhǔn)，確保檢測精度。
?。?）使用完畢后，應(yīng)將檢測儀器清潔干凈并保存在干燥、防塵的地方。
